精密儀器系源于1932年成立的清華大學(xué)工學(xué)院機(jī)械工程學(xué)系，是我國(guó)歷史最悠久的工科院系之一。2012年12月，學(xué)校決定以精密儀器與機(jī)械學(xué)系的儀器科學(xué)和光學(xué)工程學(xué)科為基礎(chǔ)，成立現(xiàn)在的精密儀器系。
精密儀器系現(xiàn)有在校博士研究生391人，碩士研究生93人；擁有2門(mén)國(guó)家級(jí)精品課程、3門(mén)北京市精品課程、6門(mén)清華大學(xué)精品課程，4門(mén)課程通過(guò)首批國(guó)家級(jí)一流本科課程認(rèn)定；建有3個(gè)國(guó)家級(jí)科研平臺(tái)、3個(gè)教育部重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室、1個(gè)北京市重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室、3個(gè)自主批建科研機(jī)構(gòu)和3個(gè)校企聯(lián)合科研機(jī)構(gòu)；現(xiàn)有院士2人、國(guó)家級(jí)高層次人才計(jì)劃入選者19人次、國(guó)家級(jí)青年人才計(jì)劃入選者18人次，在職教師合計(jì)共83人；建有教育部創(chuàng)新團(tuán)隊(duì)、國(guó)防科技創(chuàng)新團(tuán)隊(duì)、重點(diǎn)領(lǐng)域創(chuàng)新團(tuán)隊(duì)各1個(gè)。
